우선 첫시간인 펌프를 공부하기 전 간단히 펌프에 대한 요약을 하려한다. 우리는 일반적으로 반도체나 기타 다른 클린공정에 펌프를 사용하고 각각에 맞는 펌프를 사용하여야한다. 대부분 모터의 힘에의해 내부 기체를 밖으로 내보내는 펌프를 생각하는데 기체를 포집하거나 밀어내는 형식들의 펌프도 있음을 알아야한다.
이러한 펌프를 골랐다면 이제 펌프 시스템을 구성해야하는데 일반적으로 고진공을 원할때 하나의 펌프만으로는 고진공을 만들 수 없다. 각각의 구간에 해당하는 펌프들이 연결되어 있어야하며 압력에 따라 하는 역할도 나뉘고 바뀔 수 있다.
이제 러핑펌프에 대해 알아보면 우선 러핑 펌프는 대기압부터 1X10-3 torr까지 진공을 뽑아내는 펌프를 말한다.
이러한 러핑펌프에는 (주로 사용하는것에는 색깔을 진하게 해두었다)
피스톤 회전 펌프
오일 회전 펌프
드라이 펌프
섭션 펌프
벤츄리 펌프
송풍기/부스터 펌프
고진공 펌프는 1X10-3 torr~1X10-8 torr의 범위를 말하며
오일 확산 펌프
크라이오 트랩과 배플
메카니칼 크라이오 펌프
터보 분자 펌프
초고진공 펌프는 1X10-8~이하의 압력범위를 만들기 위해 사용된다. 그 종류로는
티타늄 서블리메이션 펌프
이온 펌프
non Evaporable getter pump이 있다.
초고진공 펌프는 사용하는 산업군이 많지 않으며 상당히 고 비용을 사용하게된다. 대부분 러핑시스템은 고진공 위주로 사용되며 고진공이라해서 고진공 펌프만 사용하는것이 아닌 고진공펌프+러프진공 펌프를 동시에 사용한다. 초반에는 러핑 펌프가 고진공 펌프가 작동하기 원활한 진공까지 내려주며 이후에 고진공 펌프가 사용되면 러핑 펌프는 랜덤으로 포집된 기체 분자를 내보내는 역할을 하는 펌프로 변하게 된다.
다음 시간에는 러핑펌프의 종류와 그 특징들을 공부해 보겠습니다. 질문은 언제나 환영입니다.
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