반응형 반도체/분석10 FIB 분석 및 원리 (Focused Ion Beam) 가공과 분석이 모두 가능한 고오급 장비 안녕하세요 오늘은 FIB (Focused Ion Beam)를 알아보도록 하겠습니다. FIB는 FBI처럼(...죄송합니다) 범죄에 집중하듯 집중된 이온 빔을 사용하여 물질의 표면을 가공하거나 분석하는 고오급 나노기술 도구입니다(고오급 이라 표현한 이유는 비싸기 때문) FIB는 주로 반도체 산업 및 나노기술 연구에서 사용되며 다양한 응용 분야에서 유용하게 활용됩니다. FIB의 작동 원리는 다음과 같습니다: 1.이온 발생: FIB 시스템에서는 일반적으로 갤리움(Ga) 또는 자체 톰슨(T) 이온을 사용합니다. 갤리움 이온은 일반적으로 이용되며, 갤리움을 고온에서 가열하여 생성된 이온을 이용합니다. 2.이온 표시 및 집중: 생성된 이온은 전자 렌즈 시스템을 통과하여 집중되고, 컴퓨터 제어 시스템을 사용하여 이온 .. 2023. 11. 15. ICP MASS 분석 및 원리 (FEAT. ICP-OES) 안녕하세요 오늘은 ICP-MS로 불리는 분석에 관해 알아보겠습니다. ICP-MS는 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)의 약자로 주로 정성분석에 관한 분석을 진행할때 많이 쓰입니다. 즉 원하는 시료에 어떤 물질이 있는가를 보기위한 분석입니다. 분석 원리에 대해 먼저 설명하자면 ICP PLASMA (원형으로 돌아가는 전자기장에서 충돌로 인해 발생한 플라즈마)중에서도 아르곤(Ar)플라즈마를 형선한다. 이때 시료를 넣게되고 고온의 플라즈마 상태에서 시료또한 이온화 됩니다. 이때 고체의 물질은 산으로 분해하여 그 분해한 액체를 분석하게 됩니다. 일반적으로 ICP-MS는 그 이름처럼 MASS 즉 질량을 비교하게 됩니다. 즉 이미 많은 아르곤 플라즈마에서 아르곤의 질량.. 2023. 11. 10. EDS의 원리 및 분석 (왜 에닥스 EDAX,EDX라 하는가?) EDS는 Energy Dispersive Spectrometer의 약자입니다. EDX 또는 EDAX로 불리기도하는데 주로 말하는 에닥스(EDAX)는 최초의 EDS를 만든회사로 EDS라고 불러주시는게 맞는듯합니다. 아무튼 EDS의 원리를 말하기에 앞서 현대에 사용하는 대부분의 표면 분석법들은 표면에 무언가를 쏘아서 거기서 나온 2차전자나 원소나 어떤것을 분석하는 장비가 대부분입니다. EDS도 여기에 속하는 분석법입니다. EDS는 전류를 인가해 전자를 가속시켜 쏘아보냅니다. 어디로? 바로 시료의 표면으로. 이때 강력한 충돌로 시료 표면에서는 외부전자가 들어가는 대신 내부의 전자가 나오게 됩니다. 이를 보통 이차전자(Secondary electron)라고 합니다. 여기서 이차전자를 분석하면 다른 분석장비가 되.. 2023. 11. 7. AFM이란 분석원리/이미징/해상도/MODE/반데르발스 AFM이란 AFM이란 Atomic Force Microscope라는 이름에서 알 수 있는것처럼 원자간의 힘을 바탕으로 측정되는 현미경이다. 한글로는 원자휨 현미경이라고 부르는데 그냥 AFM을 더 많이 쓴다. 기타 광학적 요소가 주가되는 현미경에서 약간 독특한 구조를 보여주는데 바로 프로브(probe)를 표면의 원자에 닿거나,가깝거나, 두드려서(tapping) 그 미세한 떨림과 원자와의 상호작용을 읽고 분석해내는 장비이다. AFM원리 AFM의 원리는 우리가 중고등학교에서 배운(요즘에는 언제배우나..모르는 아재) 반데르발스 힘을 이용한다. 전문적으로 하는 블로그는 아니니 간단하게 설명하면 AFM에는 탐침봉(Probe)가 있는데 이것을 샘플에 가까이 가져간다. 그럼 이 탐침봉이 표면에 있는 원자와 상호작용을 .. 2023. 9. 20. 이전 1 2 3 다음 반응형
