반응형 반도체/진공의 기초15 진공 더 알아보기 3. 리크(LEAK)와 탈가스 그리고 리크탐지 요즘 이래저래 바쁘다보니(게을러서입니다) 글을 정기적으로 많이 안올리고 있는데 여러모로 죄송합니다. 어찌되었건 오늘은 계속해서 진공에 대해 더 알아보려고 합니다. 우리는 진공시스템을 이용하고 원하는 압력을 맞추기위해 노력합니다. 물론 비용이 같다면 더 고진공일수록 효과적이지요. 신기한건 맨날 똑같은 작업을하고 나름 잘 닦고 잘조여두는데 어느순간 시간이 지나다보면 예전만큼 빨리 고진공으로 넘어가지 못하고 base Pressure라고 하나요. 기본 공정시작 진공까지 시간도 더 오래걸리게 됩니다. 보통 이런경우에는 챔버에 리크가 생겼다고 하는데 이 리크는 아주 작은 리크부터 순식간에 압력이 치고들어와 펌프를 끄자마자 대기압까지 가버리는 왕리크(제가 임의로 부르는겁니다)까지 여러 종류가 있습니다. 챔버에 사용하.. 2022. 3. 3. 진공 더 알아보기 2. 진공을 만들고 유지하는 구성품 앞서서는 열심히 진공을 뽑는 펌프와 그 뽑은 진공이 얼마나 되는지 측정할 수 있는 게이지들에 대해 알아보았다. 물론 조금씩 더 알아볼 예정이지만 그래도 조금씩이라도 진도가 나가야 이 지루한 챕터를 빨리 끝낼 수 있지 않을까 한다. 이번에는 열심히 만든 진공을 유지하도록 도와주는 연결부와 결합품들을 알아보도록 하자. 그 전에 우리는 진공에 대해 살짝 알아보아야 한다. 아보가드로 수 6x10^23의 분자들은 어마어마한 양이다. 우리가 눈에 보이는 가장 작은 물체 중에 하나인 머리카락으로만 따져도 그 부피를 가늠해보면 보통 사람이 머리에 10만 개의 머리카락이 있다고 하니 10^5보다 100조 배나 많은 사람 머리카락이면 지구를 뒤덮고도 남을 양이다. 또한 10^-6은 물질 표면에 분자 한층을 증착시키는데 1.. 2022. 2. 22. 진공과 게이지 2. 고진공 압력 게이지의 종류와 원리 및 특성, 압력 범위 앞서 저 진공 압력 게이지들을 알아보았다. 물론 게이지를 만드는 회사마다 다양한 종류의 압력 범위대의 게이지들을 가지고 있어 꼭 저 진공 게이지들이 저진공에 쓰이는 것은 아니다. 일반적인 상황을 이야기하는 것이므로 이번 포스팅에도 동일하게 생각해주시면 될 듯하다. 고진공 압력 게이지를 보기 전에 우선 간단히 압력을 나타내는 진공을 나눠보면 러프 진공 759~1X10-3 torr 고진공 1X10-3 torr~1X10-8 torr 초고진공 1X10-8 torr~ 로 볼 수 있다. 오늘은 고진공부터 초고진공까지의 게이지들을 소개할 것인데 앞선 게이지들보다 더 기술적으로 우위에 있고 가격도 나름 있어서 비싸다. 그렇기에 종류도 많지 않을 예정. 1. 전리 게이지(Ionization Gauge) 전리 게이지, 일.. 2022. 2. 17. 진공과 게이지 1. 압력 진공 게이지의 종류와 원리 및 특성 (저 진공 게이지) 우리가 앞서 배운것은 챔버내의 기체 분자를 최대한 밖으로 내보내어(또는 포집하여)챔버를 진공에 가깝게 만드는 펌프에 관련한 것이다. 그러나 열심히 뺐는데 궁금하지 않은가? 얼마나 빼내었고 그래서 그 정도는 얼마나 되는가. 그걸 알기위해 존재하는게 바로 진공 게이지이다. 오늘 먼저 알아볼것은 바로 러프 진공에서 사용되는 게이지이다. 게이지도 펌프처럼 각각의 원하는 정도에따라 각각 다른 게이지를 선택해서 압력대별로 사용하여야한다. 이제 차근히 알아보면 1.부르동 게이지(Bourdon Gauge) 부르동 게이지는 우리가 영화에서나 드라마에서 가스 압력이 막 왔다갔다 하면서 위험한 상태를 알려주는 경우에 주로 나오는 그것과 동일하게 생겼다. 투박하지만 대기압 부근에서의 압력을 측정하는데 신뢰성이 높은편이다. 부.. 2022. 2. 15. 이전 1 2 3 4 다음 반응형
