반응형 반도체 기초7 반도체 기초 6. sputtering 원리와 공정 및 pre-sputtering 어릴때 개울이나 계곡에 가서 놀때 장난칠겸 큰 돌을 친구나 가족 주위에 던져서 물이 튀기기 놀았던 적이 있으신가요?(아니면 나만 늙은이..) 아무튼 돌을 물에던지면 팍하며 물이 튀어올라 상대방에게 날아가게 됩니다. 아니 뭔 반도체 배우러 왔는데 물튀기는 소리하고 자빠졌나 라고 하실 수 있지만. 바로 이 원리가 적용된게(좀 억지긴하다) 오늘 우리가 배울 Sputtering(스퍼터링)입니다. 스퍼터링의 원리는 간단합니다. 이 위에 있는 스퍼터의 타겟을 물이라고 생각하시고 저기다가 아르곤(Ar)이라는 돌을 던진다고 생각해보세요. 물론 아르곤만 가능한건 아닙니다. 아무튼 그러면 육안으로 막 가루가 되어서 떨어지는게 보이지는 않 지만 떨어져 나온 이온이나 원자들이 반대편에 있는 wafer나 원하는 기판위에 올라가.. 2024. 1. 4. 반도체 기초3. 반도체에서 intrinsic vs extrinsic 반도체는 전기를 통해 전류를 제어할 수 있는 물질로, 전자의 동작에 기반한 전자 공학의 핵심 소재입니다. 반도체 소재는 크게 두 가지 유형으로 나뉩니다: intrinsic semiconductor과 extrinsic semiconductor입니다. 우선 intrinsic semiconductor는 간단하게 말씀드린다면 자연상태 그대로의 반도체를 말합니다. 자연생성물 자체에서 있는 결함이죠. 그 결함이 전기 전도를 가능하게 합니다. 여기서 intrinsic은 전자와 양공(hole)의 개수가 동일합니다. 실제 산업현장에서는 쓰지않고 전기적인 작동은 온도의 영향을 가장 크게 받습니다. 그 다음 extrinsic은 ex에서 볼 수 있듯이 외부에서 가한 hole이나 전자의 개수가 더 많은 반도체를 의미합니다. 주.. 2023. 5. 24. plasma 기초 4. 파센의 법칙(Paschen's Law)과 그 유도 파센의 법칙(Paschen's Law) 그 법칙의 의미나 정확한 뜻은 몰라도 플라즈마를 한 번이라도 켜 본 사람이라면 이 법칙에서 벗어날 수 없다. 모든 장비는 각각의 크기나 사용하는 압력에 큰 차이가 있고 플라즈마를 만드는 전극 간의 거리도 천차만별이어서 같은 전압과 임피던스를 넣는다 하더라도 플라즈마가 켜지리란 보장이 없다. 파센의 법칙은 이러한 혼란을 줄여주기위한 법칙으로 압력과 전압 그리고 전극 간의 거리에 대한 그래프를 기체별로 나타내어 대략적인 방전 개시 전압을 우리가 예측할 수 있게 도와준다. 즉 파센의 법칙은 플라즈마를 켜고 그 플라즈마를 유지하는데 도움이 되는 것이다. 플라즈마를 켜기 위해서는(장비가 세팅되어 있다는 가정) 우선 챔버 내부에 이온화시킬 가스가 들어가 있어야 한다. 그리고 .. 2022. 3. 22. Plasma 기초 2. 플라즈마의 빛(excitation과 relaxation) 우리가 익히 알고 있는 플라즈마들은 다 색상이 있다. 약간 푸른 계열을 띄는 Ar부터 북극의 오로라까지, 대부분 우리가 인식하는 플라즈마는 어딘가 오묘하면서도 신비스러운 빛을 내뿜고 있다. 그러나 잘 생각해보면 우주도 대부분 다 플라즈마로 이루어져 있다. 광활하고 넓은 우주에 플라 행성은 몇 개 안되고 대부분은 빈 공간(육안상)이며 그 빈 공간을 플라즈마가 가득 채우고 있는 것이다. 그러나 우주는 어둡다. 그렇다면 플라즈마가 아니라는 것일까? 이것을 알려면 우선 원자의 충돌에 대해 이해할 필요가 있다. 남자분들이라면 조금 이해가 쉬울듯한데 당구를 예시로 들면 좋을듯하다. 작은 공으로 큰 공을 쳤을 때 일반적인 상황이라면 충돌하면서 생기는 마찰과 소리, 등등으로 에너지가 온전히 전달되지 못한다. 이런 경우.. 2022. 3. 8. 이전 1 2 다음 반응형
