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반도체/분석

ICP MASS 분석 및 원리 (FEAT. ICP-OES)

by YB+ 2023. 11. 10.
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안녕하세요 오늘은 ICP-MS로 불리는 분석에 관해 알아보겠습니다. ICP-MS는 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)의 약자로 주로 정성분석에 관한 분석을 진행할때 많이 쓰입니다. 즉 원하는 시료에 어떤 물질이 있는가를 보기위한 분석입니다. 

 

분석 원리에 대해 먼저 설명하자면 ICP PLASMA (원형으로 돌아가는 전자기장에서 충돌로 인해 발생한 플라즈마)중에서도 아르곤(Ar)플라즈마를 형선한다. 이때 시료를 넣게되고 고온의 플라즈마 상태에서 시료또한 이온화 됩니다. 이때 고체의 물질은 산으로 분해하여 그 분해한 액체를 분석하게 됩니다. 

이렇게 자료를 정리했다.. 이게 회사에서 하는일

일반적으로 ICP-MS는 그 이름처럼 MASS 즉 질량을 비교하게 됩니다. 즉 이미 많은 아르곤 플라즈마에서 아르곤의 질량과 분석되어 나온 플라즈마 상태의 이온의 질량을 비교하면 그 비율로 어떤 원소인지 알 수 있게됩니다. 

 

요약하면

1.아르곤 플라즈마 생성

2.시료 투입

3.아르곤 플라즈마와 시료에서 나온 이온의 질량비교

4.비교한 질량으로 원소 특정

 

이 되겠습니다.

 

여기서 ICP-OES와는 다른데 OES는 이름처럼 OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY로 즉 질량을 비교하는게 아닌 이온화 된 원소가 다시 자기 자리를 찾아갈때 방출하는 빛을 분석하는것입니다. ICP-MS는 질량비교 ICP-OES는 방출된 에너지 비교가 되겠습니다.

이건 그냥 OES자료. 심심해서 넣어봤다..

 

 

 

 

 

 

 

 




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