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이온주입2

반도체 기초2. 반도체란 무엇인가(p형 반도체,n형 반도체) 저번시간 대충 만든 반도체를 만들기 전 그 장비나 안에 들어가는 부속품으로 사용되는 재료인 금속,세라믹,고분자에 대해 아주 간략히 알아봤다. 그래서 이제 그 모든것들의 최종결과물인 반도체를 공부해보려한다. 반도체는 말처럼 반은도체, 반은 부도체가 아닌 전해지는 외부의 힘에의해 도체 또는 부도체로 사용되어지는 재료를 의미한다. 좀 더 제대로 말하자면 반도체는 전기적인 특성을 가진 도체와 부도체 사이의 물질이다. 재밌는건 반도체는 원래 전기가 잘 흐르지 않는 안정적인 물질에 임의로 무언가를 넣어 전기가 통하도록 만들어준다는것이다. 반도체라는건 Eg, 에너지 갭을 가진 물질이며 전기적 특성을 활용해 특정 신호를 받아 지금 보고 있는 모니터나 컴퓨터등이 우리가 하는 일들을 저장하고 실행할 수 있는 재료들의 기본.. 2022. 9. 26.
ION Implantation(이온주입 공정) 방식과 원리 이온주입, 즉 이온을 특정물질에 넣는 작업을 의미한다. 작은 물체를 가속시켜 다른 물체에 충돌시키면 발생하는 현상은 크게 3가지이다. 튕겨나가거나 붙거나 안을 비집고 들어간다 여기서 이온주입은 3번째에 해당하는데 일반적으로 원하는 특성층을 만들기위해 Si Wafer(4족)에 3족이나 5족의 물질들을 이온주입시켜 자유전자를 늘리거나 자유정공을 만들어 이후 반도체를 만들때 특성을 보이기위해 하는 공정의 일부로 쓰인다. 이러한 공정을 진행하기 위해서는 넣은 gas나 물체가 플라즈마 형태로 존재하여 반응성을 높이고 원하는 깊이에 원하는 양을 넣을 수 있는 시간을 장비의 조건에 따른 계산과 실험을 통하여 얻어야한다. 방식은 플라즈마를 형성하여 물체에 직접 쏘는 이온빔 형식이 있고 Plasma sheath를 형성해.. 2021. 12. 14.
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