반응형 진공과 배관1 진공 더 알아보기 1. 진공은 어떻게 유지되는가 CF, NW, ISO flange 이런말이 있습니다. 백문이 불여일견, 백번을 들어도 한번 본것만 못하다는 이야기죠. 그동안 진공을 이야기하면서 펌프도 보여드리고 어떻게 작동하는지 원리도 많이 보여드렸지만 막상 펌프를 챔버에 연결하려고하면 배관부터 진공 유지를 어떻게 할지 고민해야 합니다. 아마 오늘은 좀 더 실용적인 이야기가 될 것 같네요 우선 대부분의 반도체 공정은 진공 상태를 유지하며 진행됩니다. 그런데 생각해보면 펌프의 흡입구를 직접 챔버에 연결시켜서 사용하는걸 본 적이 없습니다. 당연히 생각보다 크고 무거운 펌프를 직접 연결하는건 공간상으로 봤을때는 이득이지만 위험성이 높습니다. 그리고 역류나 역압에의한 고장이 더 빠른속도로 반응하게 됩니다. 그래서 중간에 배관을 삽입하여 사용하죠 하지만 문제는 어디에나 존재합니다. 바로 배관과.. 2022. 1. 14. 이전 1 다음 반응형
