반응형 진공압력범위1 진공의 기초 3. 기체의 성질과 법칙 그리고 압력 우선 압력에 대해 조금 더 이야기해보자면 압력은 0이 될 수 없다. 다만 0에 가까워질뿐, 우리는 각각의 사용에 의해서 압력을 제거한다. 그리고 우리가 공부하는 반도체에서는 더 청정하고 클린한 환경을 만들고 원하는 가스가 이온화되어 증착이나 반응을 일으키도록 고진공부터 초고진공까지 유지한다. 일반적으로 진공에서 압력의 범위는 3가지로 나누는데 러프진공 759~1X10-3 torr 고진공 1X10-3 torr~1X10-8 torr 초고진공1X10-8 torr~ 로 분류된다. 정확하지는 않지만 현재는 최대 1X10-12 torr까지 진공을 만드는게 한계로 알고있다. 이러한 진공시스템을 만들때는 반드시 진공용기를 단단하게 만들어야하는데 내부의 압력이 줄어듬에 따라 바깥에서 누르는 대기압이 진공용기를 파괴할 수.. 2022. 1. 5. 이전 1 다음 반응형