반응형 진공의기초3 진공의 기초 5. Throughput Q 이번에는 저번에 공부한 Throughput 일명 쓰루푸트에 대해 더 공부해보려고 합니다. 앞에서 배운 배기속도(Conductance)와 비슷하면서도 좀더 나은 개념으로 볼 수 있는데 Conductance는 단순히 진공시스템에서 배기되는 속도를 말하는것으로 실제로 진공챔버에서 얼마나 많은 분자들이 밖으로 내보내지는지 알 수 있는것이 Throughput이다. 우선 Throughput의 개념을 알기위해서는 챔버내에서 기체의 양을 알아야하는데 챔버내 기체의 양은 압력X체적(부피)로 정의된다. 이것을 풀어서 설명하면 어떠한 부피내에 있는 기체분자의 수(밀도)를 이야기하는데 일반적인 단위는 torr-liter로 주로 사용된다. 여기서 압력X체적은 기체의 양을 측정하는 방법이고 여기서 t,즉 시간을 나눠주게되면 그 .. 2022. 1. 10. 진공의 기초 4. Conductance란 [의미/계산/단위] 앞서 공부했지만 단순히 개념만 설명한것같아서 추가로 더 작성합니다. 일단 컨덕턴스(conductance)란 펌프에서 주어진 시간동안 기체를 통과시킬 수 있는 파이프(배관)의 능력을 말합니다. 위의 그림처럼 오른쪽에 있는 배관이 더 기체를 잘 흘려보낼겁니다. 우리는 오른쪽이 왼쪽보다 컨덕턴스가 좋다고 말할 수 있지요. 이러한 컨덕턴스를 나타내는 방법은 l/sec, ft-3/min, m-3/hour 입니다. 즉 시간당 지나간 양(면적)을 의미합니다. 여기서 보다시피 컨덕턴스란 개념은 펌프랑 맞물려서 사용합니다. 만약 챔버와 연결된 펌프의 용량이 500l/sec의 용량을 가졌다 하더라도 챔버에서 펌프로 나갈 수 있는 컨덕턴스가 100l/sec 라면 그 챔버의 진공배기 용량은 100l/sec가 될 수 밖에 없습.. 2022. 1. 7. 진공의 기초 2. 압력, 변환과 측정 및 분압 그리고 증기압 일반적으로 기체는 용기를 가득 채우고 형태 없이 확장하는 경향이 있으며 어느 방향이나 자유롭게 이동하는 독립적인 입자를 말한다. 이러한 기체는 반응을 잘하는 활성물질과 비활성 물지이 있으며 매우 작지만 각각이 질량을 가지고 있어 중력의 영향을 받으며 이러한 기체가 누르는 힘을 대기압이라 부른다. 이때 압력은 단위면적당 작용하는 힘으로 P=F/A 의 공식을 사용한다. A는면적 F는 힘 이때 기호는 psia, torr, std atm, pascal 을 사용하며 14.7psia=760torr=1 std atm=101,325 pascal 로 1기압을 나타낸다.이외에도 bar 나 mm of mercury등 다른 기호들도 사용하나 torr가 가장 일반적으로 사용되며 pascal을 국제 표준 압력단위로 사용한다. 분.. 2022. 1. 3. 이전 1 다음 반응형
