반응형 탈가스1 진공 더 알아보기 3. 리크(LEAK)와 탈가스 그리고 리크탐지 요즘 이래저래 바쁘다보니(게을러서입니다) 글을 정기적으로 많이 안올리고 있는데 여러모로 죄송합니다. 어찌되었건 오늘은 계속해서 진공에 대해 더 알아보려고 합니다. 우리는 진공시스템을 이용하고 원하는 압력을 맞추기위해 노력합니다. 물론 비용이 같다면 더 고진공일수록 효과적이지요. 신기한건 맨날 똑같은 작업을하고 나름 잘 닦고 잘조여두는데 어느순간 시간이 지나다보면 예전만큼 빨리 고진공으로 넘어가지 못하고 base Pressure라고 하나요. 기본 공정시작 진공까지 시간도 더 오래걸리게 됩니다. 보통 이런경우에는 챔버에 리크가 생겼다고 하는데 이 리크는 아주 작은 리크부터 순식간에 압력이 치고들어와 펌프를 끄자마자 대기압까지 가버리는 왕리크(제가 임의로 부르는겁니다)까지 여러 종류가 있습니다. 챔버에 사용하.. 2022. 3. 3. 이전 1 다음 반응형