반응형 SIO2 분석1 Ellipsometer 측정원리/분석/종류/그래프 해석 엘립소미터 원리-편광의 정도를 알고 있는 빛을 측정하고자 하는 물질에에 조사시키면 시료표면에 의해 반사되는 편광상태가 바뀌며, 이 빛의 편광상태를 측정하여 박막의 두께 및 굴절률을 알 수 있다. 엘립소는 다음과 같은 특징을 가진다 측정두께:~10um(장비별 편차 유) 비파괴분석 광학장비이지만 암실필요x 측정된 값들을 그대로 사용할 수는 없고 나온 값들을 적절히 모델링하여 매칭시켜 사용한다. 일반적으로 분석해낼 수 있는 data들은 다음과 같다. 일반적으로 위와같은 data를 얻을수 있으며 layer층에 대한 두께를 나타낸다. 위의 무수히 찍힌 점들과 기존의 모델링 line이 맞다면 두께에 대한 신뢰성이 있다고 판단할 수 있다. 다만 정확히 몇%가 점과 라인이 일치하는지는 나타나지 않아 측정자의 판단이 필.. 2021. 5. 11. 이전 1 다음 반응형
