반응형 step coverage 계산1 반도체 공정 기초1. step coverage, Aspect ratio란 무엇인가 오늘은 반도체 공정의 기초 시간입니다. 우리가 공부하면서 CVD,PVD,ALD 등등 많은 공정들을 배우는데 거기서 나오는 단어가 있습니다. 바로 step coverage, Aspect ration죠. 어딘가 쉬우면서도 비슷한 개념때문에 혼동되는 경우가 많은데 오늘 확실히 집고 넘어가도록 하겠습니다. 먼저 step coverage란 개념은 반도체 공정의 작업이 평평하지 않은데서부터 시작합니다. 우리가 배선을 심고 전신주 공사를 하기 위해서는 땅을파죠. 그리고 땅을 파놓은곳에다가 이것저것 넣고 그 위에 무언가를 세웁니다. 이런식으로 반도체 공정도 동일합니다. 평평한 Si Wafer에 구멍도 내고 그 안에다 다양한 물질들을 넣어 우리가 원하는 특성을 이끌어내는거죠. 그런데 여기서 문제가 발생합니다. 나는 파놓.. 2022. 1. 18. 이전 1 다음 반응형
