pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻

일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. 

 

Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 

 

Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 

단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다.  그래서 

 

1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는

 

1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute으로 환산이 가능하다.

 

추가로 Residence time의미를 배워보면 이는 가스의 체류시간을 의미하는것으로 용기내에 펌프로 압력을 빼기 전 남아있는 가스를 빼는데 걸리는 시간을 의미한다.

 

일반적으로  τ로 쓰이며 타우로 읽는다.

 

 τ=V/S=pV/pS=pV/Q 이다. 예를들어 1torr의 압력에 100liter의 용기 그리고 배기용량 Q를 160sccm(2tl/s)로 가정하면

 

 τ=1(p)X100(V)/2(Q)=50 second 이다. 이는 이 용기의 압력을 제거하는데 드는 시간을 의미한다.

 

오늘도 열심히 배워보았습니다. 궁금하신건 댓글로 질문해주세요