Pump에서 Conductance란

Conductance라는 말은 여기저기 굉장히 많이 쓰인다. 전기에서는 전류의 흐름이 얼마나 잘 흐르는가를 판단하는 척도로 쓰이고 열에서는 열의 이동이 얼마나 원활한가에 대한 척도로 쓰인다. 그러나 우리는 지금 펌프를 공부하고 있으니 pump에서는 어떤 의미로 쓰이는지 알아보자

 

앞선 두 경우의 전기와 열에서의 이야기처럼 pump에서도 conductance라는 말은 흐름에 관한 이야기이다. 챔버를 진공을 만들기위해 얼마나 gas를 잘 흘려 내보낼 수 있냐는 의미로 보통 쓰이는데 이건 앞서 말했던 Pumping speed나 throughput이랑은 좀 다른 이야기이다.

 

왜냐하면 펌프는 단일로 이뤄진게 아니고 챔버와 펌프사이에는 배관이 있다. 배관의 크기는 작거나 크거나 펌프에 맞춰져 있어야하고 이때 챔버의 크기나 배관의 크기로 인한 원하는 진공도에 따라서 펌프의 용량이 달라지는 경우가 일반적이다.

같은 펌프이지만 다른 배관의 크기 어느것이 더 진공을 잘 만들까?

위의 경우를 보더라도 좌측의 배관이 더 챔버를 진공으로 만드는데 유리해보일것이다. 물론 펌프가 두 배관을 뛰어넘는 힘을 가졌을 경우를 가정한 경우이다.

 

그렇다면 어떻게 해야 conductance C를 크게 할 수 있을까? 정답은 바로 큰 직경에 짧은 길이이다.

 

위 그림처럼 당연히 배관의 직경이 넓을수록 좋고 펌프와 챔버사이의 배관길이가 짧을수록 (물론 꺾임도 중요하다) Conductance가 커진다. 하지만 우리가 가스를 넣었을때 공정 압력을 맞춰야 하므로 필히 배관에는 벨브가 들어가게 된다. 직경이 크다고 벨브도 무작정 크게 만들 수 없으니 가격과 챔버크기, 원하는 진공도를 잘 생각하여 배관과 펌프를 구매해야할것이다.