반응형 기판과이온주입공정1 이온주입과 증착의 원리 및 차이점 머리로는 알고있어도 막상 온전히 이해하고 적용하는건 쉽지 않다. 특히나 반도체를 공부할때는 다양한 공정들과 각각의 공정들이 어떤 원리로 발생하는지 알아야하는데 대부분 플라즈마를 이용한 건식공정이 대부분이고 하나의 현상만 발생하지 않아 헷갈리는 경우가 많다. 그런면에서 오늘은 증착과 이온주입의 차이점과 그 비교를 통해 두 공정에 대한 이해를 해보려한다. 우선 증착은 그야말로 찔 증과 붙을착 단어처럼 무언가 물체를 가열시키거나 증발시켜 그 가열되어 떨어져 나온 물체를 다른 물체에 올리는 공정이다. 여기서 증착의 중요한점은 막을 위로 쌓는다고 가정했을때 시간당 증착되는 두께만큼 총 물체의 두께도 증가하는것이다. 예를들어 10mm의 기판에 시간당 1mm로 증착되는 물질을 가정하면 2시간이 지나면 총 기판의 두께.. 2021. 12. 15. 이전 1 다음 반응형
