반응형 반도체 기초8 Plasma 기초 2. 플라즈마의 빛(excitation과 relaxation) 우리가 익히 알고 있는 플라즈마들은 다 색상이 있다. 약간 푸른 계열을 띄는 Ar부터 북극의 오로라까지, 대부분 우리가 인식하는 플라즈마는 어딘가 오묘하면서도 신비스러운 빛을 내뿜고 있다. 그러나 잘 생각해보면 우주도 대부분 다 플라즈마로 이루어져 있다. 광활하고 넓은 우주에 플라 행성은 몇 개 안되고 대부분은 빈 공간(육안상)이며 그 빈 공간을 플라즈마가 가득 채우고 있는 것이다. 그러나 우주는 어둡다. 그렇다면 플라즈마가 아니라는 것일까? 이것을 알려면 우선 원자의 충돌에 대해 이해할 필요가 있다. 남자분들이라면 조금 이해가 쉬울듯한데 당구를 예시로 들면 좋을듯하다. 작은 공으로 큰 공을 쳤을 때 일반적인 상황이라면 충돌하면서 생기는 마찰과 소리, 등등으로 에너지가 온전히 전달되지 못한다. 이런 경우.. 2022. 3. 8. 반도체 공정 기초 3. High k와 Low k 의미와 비교 "High-k, Low-k" 우리가 반도체를 공부하며 많이 듣는 이야기이지만 명확히 어떤의미를 지니는지는 헷갈리는게 일반적이다. 처음에 반도체를 만들때에는 그저 SiO2면 충분했다. 그러나 시간이 지나면서 점차 High-k와 low-k를 가진 물질을 찾기 시작했고 최근에는 여러 다양한것들이 논의중이다. 그렇다면 왜 SiO2는 대체되기 시작했을까? 위 그림에서 보다시피 시간이 지나면서 소자가 점점 미세화되기 시작했다 특히나 10nm밑으로 진행되면서 gate insulator가 제 역할을 못하게되었다. 원래는 소자간 전류를 원할때만 통하게 해야하는데 넣으면 흘러버리는 전류로 인해 소자가 불능이 되어버리게 된다. 그래서 high-k와 lok-k가 대두되기 시작한것. 그렇다면 두개는 무엇을 의미할까 그 이전에 .. 2022. 1. 20. pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻 일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다. 그래서 1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는 1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute.. 2021. 12. 23. Ellipsometer 측정원리/분석/종류/그래프 해석 엘립소미터 원리-편광의 정도를 알고 있는 빛을 측정하고자 하는 물질에에 조사시키면 시료표면에 의해 반사되는 편광상태가 바뀌며, 이 빛의 편광상태를 측정하여 박막의 두께 및 굴절률을 알 수 있다. 엘립소는 다음과 같은 특징을 가진다 측정두께:~10um(장비별 편차 유) 비파괴분석 광학장비이지만 암실필요x 측정된 값들을 그대로 사용할 수는 없고 나온 값들을 적절히 모델링하여 매칭시켜 사용한다. 일반적으로 분석해낼 수 있는 data들은 다음과 같다. 일반적으로 위와같은 data를 얻을수 있으며 layer층에 대한 두께를 나타낸다. 위의 무수히 찍힌 점들과 기존의 모델링 line이 맞다면 두께에 대한 신뢰성이 있다고 판단할 수 있다. 다만 정확히 몇%가 점과 라인이 일치하는지는 나타나지 않아 측정자의 판단이 필.. 2021. 5. 11. 이전 1 2 다음 반응형
