반응형 반도체진공3 진공의 기초 4. Conductance란 [의미/계산/단위] 앞서 공부했지만 단순히 개념만 설명한것같아서 추가로 더 작성합니다. 일단 컨덕턴스(conductance)란 펌프에서 주어진 시간동안 기체를 통과시킬 수 있는 파이프(배관)의 능력을 말합니다. 위의 그림처럼 오른쪽에 있는 배관이 더 기체를 잘 흘려보낼겁니다. 우리는 오른쪽이 왼쪽보다 컨덕턴스가 좋다고 말할 수 있지요. 이러한 컨덕턴스를 나타내는 방법은 l/sec, ft-3/min, m-3/hour 입니다. 즉 시간당 지나간 양(면적)을 의미합니다. 여기서 보다시피 컨덕턴스란 개념은 펌프랑 맞물려서 사용합니다. 만약 챔버와 연결된 펌프의 용량이 500l/sec의 용량을 가졌다 하더라도 챔버에서 펌프로 나갈 수 있는 컨덕턴스가 100l/sec 라면 그 챔버의 진공배기 용량은 100l/sec가 될 수 밖에 없습.. 2022. 1. 7. 진공의 기초 3. 기체의 성질과 법칙 그리고 압력 우선 압력에 대해 조금 더 이야기해보자면 압력은 0이 될 수 없다. 다만 0에 가까워질뿐, 우리는 각각의 사용에 의해서 압력을 제거한다. 그리고 우리가 공부하는 반도체에서는 더 청정하고 클린한 환경을 만들고 원하는 가스가 이온화되어 증착이나 반응을 일으키도록 고진공부터 초고진공까지 유지한다. 일반적으로 진공에서 압력의 범위는 3가지로 나누는데 러프진공 759~1X10-3 torr 고진공 1X10-3 torr~1X10-8 torr 초고진공1X10-8 torr~ 로 분류된다. 정확하지는 않지만 현재는 최대 1X10-12 torr까지 진공을 만드는게 한계로 알고있다. 이러한 진공시스템을 만들때는 반드시 진공용기를 단단하게 만들어야하는데 내부의 압력이 줄어듬에 따라 바깥에서 누르는 대기압이 진공용기를 파괴할 수.. 2022. 1. 5. 진공의 기초 1. 진공과 압력이란 무엇인가 플라즈마를 공부하던 반도체를 공부하던 우리가 익히 알아야할것이 있다. 바로 '진공' 아직 반도체 공부를 시작하지 않은 사람은 왜 굳이 그냥 반도체를 만들면 되는데 굳이 비싼돈들여서 고진공까지 만든후에 반도체를 만드는가 싶을테지만 간략하게 이야기하면 우리가 듣고있는 일명 3나노는 30Å(옹스트롬)의 크기이며 이는 원자를 일렬로 놓았을때 대략 10개정도 된다. 이게 무슨말이냐면 셀 수 없이 많은 원자가 들어있는 공기를 최대한 진공에 가깝게 만든 후 원하는 가스를 넣어야 방해 없이(파티클이나 결함없이)원하는 층을 만들 수 있기 때문에 그렇게 큰 돈을 지불하고서라도 고진공을 만들려하는것이다. 그렇다면 진공이란 무엇인가. 라틴어 Vacua에서 따온말로 (영어로는 Vaccum)일명 '비어있다'는 의미이며 실제로 아.. 2021. 12. 29. 이전 1 다음 반응형
