반응형 방전개시전압1 plasma 기초 4. 파센의 법칙(Paschen's Law)과 그 유도 파센의 법칙(Paschen's Law) 그 법칙의 의미나 정확한 뜻은 몰라도 플라즈마를 한 번이라도 켜 본 사람이라면 이 법칙에서 벗어날 수 없다. 모든 장비는 각각의 크기나 사용하는 압력에 큰 차이가 있고 플라즈마를 만드는 전극 간의 거리도 천차만별이어서 같은 전압과 임피던스를 넣는다 하더라도 플라즈마가 켜지리란 보장이 없다. 파센의 법칙은 이러한 혼란을 줄여주기위한 법칙으로 압력과 전압 그리고 전극 간의 거리에 대한 그래프를 기체별로 나타내어 대략적인 방전 개시 전압을 우리가 예측할 수 있게 도와준다. 즉 파센의 법칙은 플라즈마를 켜고 그 플라즈마를 유지하는데 도움이 되는 것이다. 플라즈마를 켜기 위해서는(장비가 세팅되어 있다는 가정) 우선 챔버 내부에 이온화시킬 가스가 들어가 있어야 한다. 그리고 .. 2022. 3. 22. 이전 1 다음 반응형
