반응형 이온게이지 원리1 진공과 게이지 2. 고진공 압력 게이지의 종류와 원리 및 특성, 압력 범위 앞서 저 진공 압력 게이지들을 알아보았다. 물론 게이지를 만드는 회사마다 다양한 종류의 압력 범위대의 게이지들을 가지고 있어 꼭 저 진공 게이지들이 저진공에 쓰이는 것은 아니다. 일반적인 상황을 이야기하는 것이므로 이번 포스팅에도 동일하게 생각해주시면 될 듯하다. 고진공 압력 게이지를 보기 전에 우선 간단히 압력을 나타내는 진공을 나눠보면 러프 진공 759~1X10-3 torr 고진공 1X10-3 torr~1X10-8 torr 초고진공 1X10-8 torr~ 로 볼 수 있다. 오늘은 고진공부터 초고진공까지의 게이지들을 소개할 것인데 앞선 게이지들보다 더 기술적으로 우위에 있고 가격도 나름 있어서 비싸다. 그렇기에 종류도 많지 않을 예정. 1. 전리 게이지(Ionization Gauge) 전리 게이지, 일.. 2022. 2. 17. 이전 1 다음 반응형