반응형 진공과펌프2 펌프의 종류와 원리 3. 터보 분자 펌프(Turbomolecular pump)와 주의사항 이번에 전달해드릴 내용은 TMP입니다 터보 분자 펌프라고 불리는 펌프로 대부분의 반도체 공정장비에서 사용되는 가장 일반적인 펌프입니다. 물론 고진공 펌프에는 여러 종류가 있기에 앞서서 살짝만 간단히 설명드리고 바로 TMP로 넘어가도록 하겠습니다. 우선 오일 확산 펌프입니다. 간단히 원리를 설명드리면 오일을 높은 온도로 가열하여 위쪽으로 향해진 오일 증기들이 아랫방향으로 노출된 좁은 분사장치를 통해서 쏘아지는 형태입니다. 아래로 쏘아지면서 증기 분자들을 밑으로 가게만들고 이는 기체분자들을 아래에 있는 펌프로 내보내지게 되어 진공을 유지하는 형태입니다. 그리고 쏘아진 증기들은 벽면의 냉각수에 의해 다시 밑으로 향하고 밑에서는 다시 가열하여 열만 있다면 끝없이 반복되는 형태입니다. 여기서 오일확산펌프는 오일의.. 2022. 1. 13. 진공의 기초 1. 진공과 압력이란 무엇인가 플라즈마를 공부하던 반도체를 공부하던 우리가 익히 알아야할것이 있다. 바로 '진공' 아직 반도체 공부를 시작하지 않은 사람은 왜 굳이 그냥 반도체를 만들면 되는데 굳이 비싼돈들여서 고진공까지 만든후에 반도체를 만드는가 싶을테지만 간략하게 이야기하면 우리가 듣고있는 일명 3나노는 30Å(옹스트롬)의 크기이며 이는 원자를 일렬로 놓았을때 대략 10개정도 된다. 이게 무슨말이냐면 셀 수 없이 많은 원자가 들어있는 공기를 최대한 진공에 가깝게 만든 후 원하는 가스를 넣어야 방해 없이(파티클이나 결함없이)원하는 층을 만들 수 있기 때문에 그렇게 큰 돈을 지불하고서라도 고진공을 만들려하는것이다. 그렇다면 진공이란 무엇인가. 라틴어 Vacua에서 따온말로 (영어로는 Vaccum)일명 '비어있다'는 의미이며 실제로 아.. 2021. 12. 29. 이전 1 다음 반응형
