반응형 표면분석2 EDS의 원리 및 분석 (왜 에닥스 EDAX,EDX라 하는가?) EDS는 Energy Dispersive Spectrometer의 약자입니다. EDX 또는 EDAX로 불리기도하는데 주로 말하는 에닥스(EDAX)는 최초의 EDS를 만든회사로 EDS라고 불러주시는게 맞는듯합니다. 아무튼 EDS의 원리를 말하기에 앞서 현대에 사용하는 대부분의 표면 분석법들은 표면에 무언가를 쏘아서 거기서 나온 2차전자나 원소나 어떤것을 분석하는 장비가 대부분입니다. EDS도 여기에 속하는 분석법입니다. EDS는 전류를 인가해 전자를 가속시켜 쏘아보냅니다. 어디로? 바로 시료의 표면으로. 이때 강력한 충돌로 시료 표면에서는 외부전자가 들어가는 대신 내부의 전자가 나오게 됩니다. 이를 보통 이차전자(Secondary electron)라고 합니다. 여기서 이차전자를 분석하면 다른 분석장비가 .. 2023. 11. 7. Auger 분석과 원리/depth profiling/방법/Spectrum Auger 분석법은 전자 beam을 시료 표면에 입사시키면 시료 표면으로부터 시료원자 고유의 에너지를 가지는 전자가 방출되는데, 이 전자를 검출하여 시료표면원소의 정성 및 정량분석하는 방법이다. 1923년 들뜬상태의 원자에서 바닥상태의 원자상태로 전이하는 과정에서 전자가 방출되어 운동하는 것을 처음 발견하였고, 이러한 전자들을 '오제(Auger) 전자'라 부른다. 이온스퍼터링으로 표면을 식각하면서 분석함으로써, 시료의 깊이 분포(방향)에 따른 구성원소들의 화학적인 조성비를 확인 할 수 있다(depth profiling) 화학 결합상태 및 전자구조까지 분석할 수 있다. . Excited state에서 Ground state로 전이되는 과정에서 X-선 혹은 전자를 방출하는데 이때 방출되는 전자.. 2021. 6. 21. 이전 1 다음 반응형
