반응형 FIB 분석 원리1 FIB 분석 및 원리 (Focused Ion Beam) 가공과 분석이 모두 가능한 고오급 장비 안녕하세요 오늘은 FIB (Focused Ion Beam)를 알아보도록 하겠습니다. FIB는 FBI처럼(...죄송합니다) 범죄에 집중하듯 집중된 이온 빔을 사용하여 물질의 표면을 가공하거나 분석하는 고오급 나노기술 도구입니다(고오급 이라 표현한 이유는 비싸기 때문) FIB는 주로 반도체 산업 및 나노기술 연구에서 사용되며 다양한 응용 분야에서 유용하게 활용됩니다. FIB의 작동 원리는 다음과 같습니다: 1.이온 발생: FIB 시스템에서는 일반적으로 갤리움(Ga) 또는 자체 톰슨(T) 이온을 사용합니다. 갤리움 이온은 일반적으로 이용되며, 갤리움을 고온에서 가열하여 생성된 이온을 이용합니다. 2.이온 표시 및 집중: 생성된 이온은 전자 렌즈 시스템을 통과하여 집중되고, 컴퓨터 제어 시스템을 사용하여 이온 .. 2023. 11. 15. 이전 1 다음 반응형
