반응형 MFP2 Plasma 기초 8.mfp란 무엇인가 오늘 우리가 알아볼 플라즈마에서 중요한 개념 중 하나인 '평균 자유 행로(Mean Free Path, MFP)'는 챔버네의 입자들이 충돌 없이 이동할 수 있는 평균 거리를 의미합니다. 여기서 평균이란 말이 중요한것은 플라즈마는 국부적이지 않고 챔버 전체에서 벌어지는 일이기에 플라즈마 전체의 평균 거리를 보는게 중요하기 때문. 플라즈마는 이온화된 가스로, 전자와 이온이 높은 에너지를 가지고 서로 충돌하면서 다양한 물리적 현상을 일으킵니다. 평균 자유 행로는 이러한 충돌이 얼마나 자주 발생하는지를 나타내며, 플라즈마의 밀도와 온도에 크게 좌우됩니다.평균 자유 행로의 정의와 계산평균 자유 행로는 다음과 같은 식으로 계산됩니다:λ=a/P(a는 기체의 비례상수 P는 압력) 이 식은 입자들이 서로 충돌할 확률을 .. 2024. 8. 1. mean free path(mfp-평균자유행로) 의미 mfp 일명 평균자유행로라 일컬어지는 이 말은 가스 원자들이 다른 가스 원자를 만나 충돌할 수 있는 평균 거리를 나타낸것을 의미한다. 간단하게 말하면 가스가 다른 가스와 부딪힐때까지 이동하는 거리의 평균을 의미하는것. 일반적으로 압력이 높을수록(동일 공간내에 가스가 많을수록) 반대로 공간이 좁을수록(동일 가스량 가정)평균자유행로 즉 mfp는 줄어든다 일반적으로 1mtorr의 상온에서 아르곤의 mfp는 약 8cm이고 다른 가스들은 평균적으로 이 3배 안의 값을 가진다. 원자간에 상호작용이 없다고 가정하면 충돌할 확률은 일반적으로 원자크기에 비례한다. mfp의 기호는 λ(람다)로 쓰고 공식은 다음과 같다 λ=v/θ (v는 평균속도, θ는 평균 초당 충돌회수) =1/N*A(N은 기체의밀도,A는 공간의 부피) .. 2021. 12. 21. 이전 1 다음 반응형
