반응형 Reactive Sputtering 반응가스1 Reactive Sputtering원리 Sputtering과의 차이점, 부도체 생성 안녕하세요 오늘은 Reactive Sputter 즉, 반응성 스퍼터링에 대해 공부해 보겠습니다. 기본적인 스퍼터에 관한건 아래 글에서 확인하시면 됩니다. 대략적인 설명이니 간단하게 이해하실분만 보시면 되겠습니다. 반도체 기초 6. sputtering 원리와 공정 및 pre-sputtering 어릴때 개울이나 계곡에 가서 놀때 장난칠겸 큰 돌을 친구나 가족 주위에 던져서 물이 튀기기 놀았던 적이 있으신가요?(아니면 나만 늙은이..) 아무튼 돌을 물에던지면 팍하며 물이 튀어올라 상 jhjjs.tistory.com 스퍼터는 즉 기판에 원하는 물질을 증착시키는 공정으로 원하는 물질(타겟)을 반대편에 놓고 흠씬 두들겨패서 거기서 나온 물질이 기판위에 올라가는 방식입니다. 말로는 아주 간단하지만 진공상태에서 타겟에.. 2024. 3. 5. 이전 1 다음 반응형
