반응형 auger depth profiling1 Auger 분석과 원리/depth profiling/방법/Spectrum Auger 분석법은 전자 beam을 시료 표면에 입사시키면 시료 표면으로부터 시료원자 고유의 에너지를 가지는 전자가 방출되는데, 이 전자를 검출하여 시료표면원소의 정성 및 정량분석하는 방법이다. 1923년 들뜬상태의 원자에서 바닥상태의 원자상태로 전이하는 과정에서 전자가 방출되어 운동하는 것을 처음 발견하였고, 이러한 전자들을 '오제(Auger) 전자'라 부른다. 이온스퍼터링으로 표면을 식각하면서 분석함으로써, 시료의 깊이 분포(방향)에 따른 구성원소들의 화학적인 조성비를 확인 할 수 있다(depth profiling) 화학 결합상태 및 전자구조까지 분석할 수 있다. . Excited state에서 Ground state로 전이되는 과정에서 X-선 혹은 전자를 방출하는데 이때 방출되는 전자.. 2021. 6. 21. 이전 1 다음 반응형
