반응형 pumping speed2 진공의 기초 5. Throughput Q 이번에는 저번에 공부한 Throughput 일명 쓰루푸트에 대해 더 공부해보려고 합니다. 앞에서 배운 배기속도(Conductance)와 비슷하면서도 좀더 나은 개념으로 볼 수 있는데 Conductance는 단순히 진공시스템에서 배기되는 속도를 말하는것으로 실제로 진공챔버에서 얼마나 많은 분자들이 밖으로 내보내지는지 알 수 있는것이 Throughput이다. 우선 Throughput의 개념을 알기위해서는 챔버내에서 기체의 양을 알아야하는데 챔버내 기체의 양은 압력X체적(부피)로 정의된다. 이것을 풀어서 설명하면 어떠한 부피내에 있는 기체분자의 수(밀도)를 이야기하는데 일반적인 단위는 torr-liter로 주로 사용된다. 여기서 압력X체적은 기체의 양을 측정하는 방법이고 여기서 t,즉 시간을 나눠주게되면 그 .. 2022. 1. 10. pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻 일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다. 그래서 1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는 1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute.. 2021. 12. 23. 이전 1 다음 반응형
