반응형 반도체/진공의 기초15 진공의 기초 1. 진공과 압력이란 무엇인가 플라즈마를 공부하던 반도체를 공부하던 우리가 익히 알아야할것이 있다. 바로 '진공' 아직 반도체 공부를 시작하지 않은 사람은 왜 굳이 그냥 반도체를 만들면 되는데 굳이 비싼돈들여서 고진공까지 만든후에 반도체를 만드는가 싶을테지만 간략하게 이야기하면 우리가 듣고있는 일명 3나노는 30Å(옹스트롬)의 크기이며 이는 원자를 일렬로 놓았을때 대략 10개정도 된다. 이게 무슨말이냐면 셀 수 없이 많은 원자가 들어있는 공기를 최대한 진공에 가깝게 만든 후 원하는 가스를 넣어야 방해 없이(파티클이나 결함없이)원하는 층을 만들 수 있기 때문에 그렇게 큰 돈을 지불하고서라도 고진공을 만들려하는것이다. 그렇다면 진공이란 무엇인가. 라틴어 Vacua에서 따온말로 (영어로는 Vaccum)일명 '비어있다'는 의미이며 실제로 아.. 2021. 12. 29. Pump에서 Conductance란 Conductance라는 말은 여기저기 굉장히 많이 쓰인다. 전기에서는 전류의 흐름이 얼마나 잘 흐르는가를 판단하는 척도로 쓰이고 열에서는 열의 이동이 얼마나 원활한가에 대한 척도로 쓰인다. 그러나 우리는 지금 펌프를 공부하고 있으니 pump에서는 어떤 의미로 쓰이는지 알아보자 앞선 두 경우의 전기와 열에서의 이야기처럼 pump에서도 conductance라는 말은 흐름에 관한 이야기이다. 챔버를 진공을 만들기위해 얼마나 gas를 잘 흘려 내보낼 수 있냐는 의미로 보통 쓰이는데 이건 앞서 말했던 Pumping speed나 throughput이랑은 좀 다른 이야기이다. 왜냐하면 펌프는 단일로 이뤄진게 아니고 챔버와 펌프사이에는 배관이 있다. 배관의 크기는 작거나 크거나 펌프에 맞춰져 있어야하고 이때 챔버의 .. 2021. 12. 24. pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻 일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다. 그래서 1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는 1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute.. 2021. 12. 23. 이전 1 2 3 4 다음 반응형
