반응형 반도체/진공의 기초15 진공 더 알아보기 1. 진공은 어떻게 유지되는가 CF, NW, ISO flange 이런말이 있습니다. 백문이 불여일견, 백번을 들어도 한번 본것만 못하다는 이야기죠. 그동안 진공을 이야기하면서 펌프도 보여드리고 어떻게 작동하는지 원리도 많이 보여드렸지만 막상 펌프를 챔버에 연결하려고하면 배관부터 진공 유지를 어떻게 할지 고민해야 합니다. 아마 오늘은 좀 더 실용적인 이야기가 될 것 같네요 우선 대부분의 반도체 공정은 진공 상태를 유지하며 진행됩니다. 그런데 생각해보면 펌프의 흡입구를 직접 챔버에 연결시켜서 사용하는걸 본 적이 없습니다. 당연히 생각보다 크고 무거운 펌프를 직접 연결하는건 공간상으로 봤을때는 이득이지만 위험성이 높습니다. 그리고 역류나 역압에의한 고장이 더 빠른속도로 반응하게 됩니다. 그래서 중간에 배관을 삽입하여 사용하죠 하지만 문제는 어디에나 존재합니다. 바로 배관과.. 2022. 1. 14. 펌프의 종류와 원리 3. 터보 분자 펌프(Turbomolecular pump)와 주의사항 이번에 전달해드릴 내용은 TMP입니다 터보 분자 펌프라고 불리는 펌프로 대부분의 반도체 공정장비에서 사용되는 가장 일반적인 펌프입니다. 물론 고진공 펌프에는 여러 종류가 있기에 앞서서 살짝만 간단히 설명드리고 바로 TMP로 넘어가도록 하겠습니다. 우선 오일 확산 펌프입니다. 간단히 원리를 설명드리면 오일을 높은 온도로 가열하여 위쪽으로 향해진 오일 증기들이 아랫방향으로 노출된 좁은 분사장치를 통해서 쏘아지는 형태입니다. 아래로 쏘아지면서 증기 분자들을 밑으로 가게만들고 이는 기체분자들을 아래에 있는 펌프로 내보내지게 되어 진공을 유지하는 형태입니다. 그리고 쏘아진 증기들은 벽면의 냉각수에 의해 다시 밑으로 향하고 밑에서는 다시 가열하여 열만 있다면 끝없이 반복되는 형태입니다. 여기서 오일확산펌프는 오일의.. 2022. 1. 13. 펌프의 종류와 원리 2. 러핑 펌프의 종류와 특징 전 시간에는 펌프를 배우기 전 펌프가 어떻게 구성되고 각각의 펌프들은 어떤 진공에서 사용되는지 알아봤습니다. 일반적으로 러핑펌프는 대기압부터 10-3torr까지의 압력에서 사용되는 펌프들로 챔버의 진공 목표가 러핑 펌프수준이면 단일로 사용하지만 고진공인 경우에는 초기에 챔버의 압력을 고진공 펌프가 돌아갈 수 있게 만들어주고 이후에는 백업 펌프로 사용되어집니다. 그럼 순서대로 러핑 펌프에 대해 배워보겠습니다. 1.피스톤 회전 펌프(로터리 펌프) 보시면 pump inlet에서 가스가 주입되고 안에있는 피스톤이 회전하면서 공기를 압축->방출을 반복한다. 생각외로 복잡해보이는 구조를 지녔지만 들어온 가스를 압축시켜 방출하는 단순한 구조를 가졌다. 2.오일 회전 펌프 이 오일 회전 펌프도 앞선 피스톤펌프와 비슷한.. 2022. 1. 12. 펌프의 종류와 원리 1. 펌프들은 어떻게 나뉘고 구성되는가 우선 첫시간인 펌프를 공부하기 전 간단히 펌프에 대한 요약을 하려한다. 우리는 일반적으로 반도체나 기타 다른 클린공정에 펌프를 사용하고 각각에 맞는 펌프를 사용하여야한다. 대부분 모터의 힘에의해 내부 기체를 밖으로 내보내는 펌프를 생각하는데 기체를 포집하거나 밀어내는 형식들의 펌프도 있음을 알아야한다. 이러한 펌프를 골랐다면 이제 펌프 시스템을 구성해야하는데 일반적으로 고진공을 원할때 하나의 펌프만으로는 고진공을 만들 수 없다. 각각의 구간에 해당하는 펌프들이 연결되어 있어야하며 압력에 따라 하는 역할도 나뉘고 바뀔 수 있다. 이제 러핑펌프에 대해 알아보면 우선 러핑 펌프는 대기압부터 1X10-3 torr까지 진공을 뽑아내는 펌프를 말한다. 이러한 러핑펌프에는 (주로 사용하는것에는 색깔을 진하게 해두었다.. 2022. 1. 11. 이전 1 2 3 4 다음 반응형
