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반도체62

AFM분석 원리/해석/장치/기기 AFM은 현재 가장 널리 쓰이는 Scanning Probe Microscope(SPM) 중의 하나로 원자현미경이다. 원자힘현미경은 시료 표면의 원자 혹은 분자와 캔틸레버라고 하는 막대에 달린 나노 크기의 바늘(탐침, 팁)간의 상호작용에 의해 휘어지는 캔틸레버를 레이저가 인식하면서, 시료 표면의 일정 면적에 대한 스캔을 통해 표면의 높낮이 구조를 영상으로 재구성 시키는 현미경이다. 이러한 원리를 이용하여 진공, 공기, 액체와 같은 다양한 환경에서 시료의 나노미터 크기에 대한 정보를 얻을 수 있기 때문에 원자힘현미경은 생명과학연구, 반도체 제작, 나노입자 개발 등의 다양한 분야에서 널리 활용되고 있다. ​ AFM은 캔틸레버라 불리는 장치 끝에 매우 미세한 탐침을 부착하여 제작한다. 캔틸레버는 일반적으로 실리.. 2021. 6. 30.
Auger 분석과 원리/depth profiling/방법/Spectrum Auger 분석법은 전자 beam을 시료 표면에 입사시키면 시료 표면으로부터 시료원자 고유의 에너지를 가지는 전자가 방출되는데, 이 전자를 검출하여 시료표면원소의 정성 및 정량분석하는 방법이다. ​ 1923년 들뜬상태의 원자에서 바닥상태의 원자상태로 전이하는 과정에서 전자가 방출되어 운동하는 것을 처음 발견하였고, 이러한 전자들을 '오제(Auger) 전자'라 부른다. ​ 이온스퍼터링으로 표면을 식각하면서 분석함으로써, 시료의 깊이 분포(방향)에 따른 구성원소들의 화학적인 조성비를 확인 할 수 있다(depth profiling) 화학 결합상태 및 전자구조까지 분석할 수 있다. . ​ ​ Excited state에서 Ground state로 전이되는 과정에서 X-선 혹은 전자를 방출하는데 이때 방출되는 전자.. 2021. 6. 21.
알칼리,할로겐 원소 특성 원소들 중에 가장 반응성이 큰 족을 고르라면 금속으로는 알칼리 금속, 비금속으로는 할로겐 원소입니다. 지금부터 배울 것은 같은 족으로서 갖는 공통성에 관해서입니다. 1. 알칼리 금속[Li(3), Na(11), K(19), Rb(37), Cs(55)] 알칼리 금속은 매우 반응성이 커서 공기 중의 산소와 쉽게 반응합니다. 리튬이나 나트륨, 칼륨 같은 알칼리 금속을 칼로 자른 단면을 공기 중에서 관찰하면 은백색 광택이 곧 사라지는 것을 볼 수 있죠. 금방 산화하기 때문이죠. 따라서 알칼리 금속은 공기와 접촉하지 않도록 해야 하기 때문에 보통 등유 속에 보관합니다. 같은 족에서 아래로 갈수록 원자 번호가 크며 그만큼 큰 원자이고, 원자핵에서 가장 바깥에 있는 전자까지의 거리가 멀어서 전자를 쉽게 잃어 양이온으로.. 2021. 5. 18.
Ellipsometer 측정원리/분석/종류/그래프 해석 엘립소미터 원리-편광의 정도를 알고 있는 빛을 측정하고자 하는 물질에에 조사시키면 시료표면에 의해 반사되는 편광상태가 바뀌며, 이 빛의 편광상태를 측정하여 박막의 두께 및 굴절률을 알 수 있다. 엘립소는 다음과 같은 특징을 가진다 측정두께:~10um(장비별 편차 유) 비파괴분석 광학장비이지만 암실필요x 측정된 값들을 그대로 사용할 수는 없고 나온 값들을 적절히 모델링하여 매칭시켜 사용한다. 일반적으로 분석해낼 수 있는 data들은 다음과 같다. 일반적으로 위와같은 data를 얻을수 있으며 layer층에 대한 두께를 나타낸다. 위의 무수히 찍힌 점들과 기존의 모델링 line이 맞다면 두께에 대한 신뢰성이 있다고 판단할 수 있다. 다만 정확히 몇%가 점과 라인이 일치하는지는 나타나지 않아 측정자의 판단이 필.. 2021. 5. 11.
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