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진공의 기초 2. 압력, 변환과 측정 및 분압 그리고 증기압 일반적으로 기체는 용기를 가득 채우고 형태 없이 확장하는 경향이 있으며 어느 방향이나 자유롭게 이동하는 독립적인 입자를 말한다. 이러한 기체는 반응을 잘하는 활성물질과 비활성 물지이 있으며 매우 작지만 각각이 질량을 가지고 있어 중력의 영향을 받으며 이러한 기체가 누르는 힘을 대기압이라 부른다. 이때 압력은 단위면적당 작용하는 힘으로 P=F/A 의 공식을 사용한다. A는면적 F는 힘 이때 기호는 psia, torr, std atm, pascal 을 사용하며 14.7psia=760torr=1 std atm=101,325 pascal 로 1기압을 나타낸다.이외에도 bar 나 mm of mercury등 다른 기호들도 사용하나 torr가 가장 일반적으로 사용되며 pascal을 국제 표준 압력단위로 사용한다. 분.. 2022. 1. 3.
진공의 기초 1. 진공과 압력이란 무엇인가 플라즈마를 공부하던 반도체를 공부하던 우리가 익히 알아야할것이 있다. 바로 '진공' 아직 반도체 공부를 시작하지 않은 사람은 왜 굳이 그냥 반도체를 만들면 되는데 굳이 비싼돈들여서 고진공까지 만든후에 반도체를 만드는가 싶을테지만 간략하게 이야기하면 우리가 듣고있는 일명 3나노는 30Å(옹스트롬)의 크기이며 이는 원자를 일렬로 놓았을때 대략 10개정도 된다. 이게 무슨말이냐면 셀 수 없이 많은 원자가 들어있는 공기를 최대한 진공에 가깝게 만든 후 원하는 가스를 넣어야 방해 없이(파티클이나 결함없이)원하는 층을 만들 수 있기 때문에 그렇게 큰 돈을 지불하고서라도 고진공을 만들려하는것이다. 그렇다면 진공이란 무엇인가. 라틴어 Vacua에서 따온말로 (영어로는 Vaccum)일명 '비어있다'는 의미이며 실제로 아.. 2021. 12. 29.
Pump에서 Conductance란 Conductance라는 말은 여기저기 굉장히 많이 쓰인다. 전기에서는 전류의 흐름이 얼마나 잘 흐르는가를 판단하는 척도로 쓰이고 열에서는 열의 이동이 얼마나 원활한가에 대한 척도로 쓰인다. 그러나 우리는 지금 펌프를 공부하고 있으니 pump에서는 어떤 의미로 쓰이는지 알아보자 앞선 두 경우의 전기와 열에서의 이야기처럼 pump에서도 conductance라는 말은 흐름에 관한 이야기이다. 챔버를 진공을 만들기위해 얼마나 gas를 잘 흘려 내보낼 수 있냐는 의미로 보통 쓰이는데 이건 앞서 말했던 Pumping speed나 throughput이랑은 좀 다른 이야기이다. 왜냐하면 펌프는 단일로 이뤄진게 아니고 챔버와 펌프사이에는 배관이 있다. 배관의 크기는 작거나 크거나 펌프에 맞춰져 있어야하고 이때 챔버의 .. 2021. 12. 24.
pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻 일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다. 그래서 1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는 1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute.. 2021. 12. 23.
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