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펌프의 종류와 원리 1. 펌프들은 어떻게 나뉘고 구성되는가 우선 첫시간인 펌프를 공부하기 전 간단히 펌프에 대한 요약을 하려한다. 우리는 일반적으로 반도체나 기타 다른 클린공정에 펌프를 사용하고 각각에 맞는 펌프를 사용하여야한다. 대부분 모터의 힘에의해 내부 기체를 밖으로 내보내는 펌프를 생각하는데 기체를 포집하거나 밀어내는 형식들의 펌프도 있음을 알아야한다. 이러한 펌프를 골랐다면 이제 펌프 시스템을 구성해야하는데 일반적으로 고진공을 원할때 하나의 펌프만으로는 고진공을 만들 수 없다. 각각의 구간에 해당하는 펌프들이 연결되어 있어야하며 압력에 따라 하는 역할도 나뉘고 바뀔 수 있다. 이제 러핑펌프에 대해 알아보면 우선 러핑 펌프는 대기압부터 1X10-3 torr까지 진공을 뽑아내는 펌프를 말한다. 이러한 러핑펌프에는 (주로 사용하는것에는 색깔을 진하게 해두었다.. 2022. 1. 11.
진공의 기초 5. Throughput Q 이번에는 저번에 공부한 Throughput 일명 쓰루푸트에 대해 더 공부해보려고 합니다. 앞에서 배운 배기속도(Conductance)와 비슷하면서도 좀더 나은 개념으로 볼 수 있는데 Conductance는 단순히 진공시스템에서 배기되는 속도를 말하는것으로 실제로 진공챔버에서 얼마나 많은 분자들이 밖으로 내보내지는지 알 수 있는것이 Throughput이다. 우선 Throughput의 개념을 알기위해서는 챔버내에서 기체의 양을 알아야하는데 챔버내 기체의 양은 압력X체적(부피)로 정의된다. 이것을 풀어서 설명하면 어떠한 부피내에 있는 기체분자의 수(밀도)를 이야기하는데 일반적인 단위는 torr-liter로 주로 사용된다. 여기서 압력X체적은 기체의 양을 측정하는 방법이고 여기서 t,즉 시간을 나눠주게되면 그 .. 2022. 1. 10.
진공의 기초 4. Conductance란 [의미/계산/단위] 앞서 공부했지만 단순히 개념만 설명한것같아서 추가로 더 작성합니다. 일단 컨덕턴스(conductance)란 펌프에서 주어진 시간동안 기체를 통과시킬 수 있는 파이프(배관)의 능력을 말합니다. 위의 그림처럼 오른쪽에 있는 배관이 더 기체를 잘 흘려보낼겁니다. 우리는 오른쪽이 왼쪽보다 컨덕턴스가 좋다고 말할 수 있지요. 이러한 컨덕턴스를 나타내는 방법은 l/sec, ft-3/min, m-3/hour 입니다. 즉 시간당 지나간 양(면적)을 의미합니다. 여기서 보다시피 컨덕턴스란 개념은 펌프랑 맞물려서 사용합니다. 만약 챔버와 연결된 펌프의 용량이 500l/sec의 용량을 가졌다 하더라도 챔버에서 펌프로 나갈 수 있는 컨덕턴스가 100l/sec 라면 그 챔버의 진공배기 용량은 100l/sec가 될 수 밖에 없습.. 2022. 1. 7.
진공의 기초 3. 기체의 성질과 법칙 그리고 압력 우선 압력에 대해 조금 더 이야기해보자면 압력은 0이 될 수 없다. 다만 0에 가까워질뿐, 우리는 각각의 사용에 의해서 압력을 제거한다. 그리고 우리가 공부하는 반도체에서는 더 청정하고 클린한 환경을 만들고 원하는 가스가 이온화되어 증착이나 반응을 일으키도록 고진공부터 초고진공까지 유지한다. 일반적으로 진공에서 압력의 범위는 3가지로 나누는데 러프진공 759~1X10-3 torr 고진공 1X10-3 torr~1X10-8 torr 초고진공1X10-8 torr~ 로 분류된다. 정확하지는 않지만 현재는 최대 1X10-12 torr까지 진공을 만드는게 한계로 알고있다. 이러한 진공시스템을 만들때는 반드시 진공용기를 단단하게 만들어야하는데 내부의 압력이 줄어듬에 따라 바깥에서 누르는 대기압이 진공용기를 파괴할 수.. 2022. 1. 5.
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