반응형 반도체공부15 펌프의 종류와 원리 1. 펌프들은 어떻게 나뉘고 구성되는가 우선 첫시간인 펌프를 공부하기 전 간단히 펌프에 대한 요약을 하려한다. 우리는 일반적으로 반도체나 기타 다른 클린공정에 펌프를 사용하고 각각에 맞는 펌프를 사용하여야한다. 대부분 모터의 힘에의해 내부 기체를 밖으로 내보내는 펌프를 생각하는데 기체를 포집하거나 밀어내는 형식들의 펌프도 있음을 알아야한다. 이러한 펌프를 골랐다면 이제 펌프 시스템을 구성해야하는데 일반적으로 고진공을 원할때 하나의 펌프만으로는 고진공을 만들 수 없다. 각각의 구간에 해당하는 펌프들이 연결되어 있어야하며 압력에 따라 하는 역할도 나뉘고 바뀔 수 있다. 이제 러핑펌프에 대해 알아보면 우선 러핑 펌프는 대기압부터 1X10-3 torr까지 진공을 뽑아내는 펌프를 말한다. 이러한 러핑펌프에는 (주로 사용하는것에는 색깔을 진하게 해두었다.. 2022. 1. 11. 진공의 기초 5. Throughput Q 이번에는 저번에 공부한 Throughput 일명 쓰루푸트에 대해 더 공부해보려고 합니다. 앞에서 배운 배기속도(Conductance)와 비슷하면서도 좀더 나은 개념으로 볼 수 있는데 Conductance는 단순히 진공시스템에서 배기되는 속도를 말하는것으로 실제로 진공챔버에서 얼마나 많은 분자들이 밖으로 내보내지는지 알 수 있는것이 Throughput이다. 우선 Throughput의 개념을 알기위해서는 챔버내에서 기체의 양을 알아야하는데 챔버내 기체의 양은 압력X체적(부피)로 정의된다. 이것을 풀어서 설명하면 어떠한 부피내에 있는 기체분자의 수(밀도)를 이야기하는데 일반적인 단위는 torr-liter로 주로 사용된다. 여기서 압력X체적은 기체의 양을 측정하는 방법이고 여기서 t,즉 시간을 나눠주게되면 그 .. 2022. 1. 10. Pump에서 Conductance란 Conductance라는 말은 여기저기 굉장히 많이 쓰인다. 전기에서는 전류의 흐름이 얼마나 잘 흐르는가를 판단하는 척도로 쓰이고 열에서는 열의 이동이 얼마나 원활한가에 대한 척도로 쓰인다. 그러나 우리는 지금 펌프를 공부하고 있으니 pump에서는 어떤 의미로 쓰이는지 알아보자 앞선 두 경우의 전기와 열에서의 이야기처럼 pump에서도 conductance라는 말은 흐름에 관한 이야기이다. 챔버를 진공을 만들기위해 얼마나 gas를 잘 흘려 내보낼 수 있냐는 의미로 보통 쓰이는데 이건 앞서 말했던 Pumping speed나 throughput이랑은 좀 다른 이야기이다. 왜냐하면 펌프는 단일로 이뤄진게 아니고 챔버와 펌프사이에는 배관이 있다. 배관의 크기는 작거나 크거나 펌프에 맞춰져 있어야하고 이때 챔버의 .. 2021. 12. 24. pumping speed, throughput , residence time 단위 및 의미 뜻 일반적으로 가스 흐름을 나타내는건 두가지 종류가 있다. Pumping speed 를 S 로(초마다 부피를 지나는 가스량) 쓰는경우가 있지만 여기서 S는 압력을 포함하지 않아 Throughput Q를 사용한다. S에 p압력을 곱한 pS의 값으로 flow rate로도 불리고 가스를 챔버에 넣을때도 이 단위를 사용한다. 단위는 torr liter/s이다. 또한 이 단위를 sccm(standard cc per minute)로 쓰기도 하는데 standard는 0도씨 1기압을 상정한다. 그래서 1sccm=6.023X10-23/22414=2.69X10-19 molecules per minute으로 나타내며 이는 1torr litre/sec=79.05 sccm= 2.13X10-21 molecules per minute.. 2021. 12. 23. 이전 1 2 3 4 다음 반응형
